半導体製造装置 制御盤の静電気対策

半導体製造装置制御盤には、様々な制御基板が搭載されます。この基板の不具合・トラブルの原因の１つに静電気があります。帯電による埃の吸着、静電気放電による素子の破壊、帯電した素子が別の素子に触れた際に起こる二次破壊等は、人間の感じる３分の１程度の電圧で起こり、原因究明が困難で時間を要するため、大きな問題に発展する可能性があります。
問題回避のためには、接地を徹底し絶縁物を排除する環境対策、基板を取り扱う人間（導体）にも設置対策と帯電防止対策を行い管理する必要があります。トラブルの元静電気放電は、多くの場合が人体を元凶として起こります。

【対策として次の５点を行う必要が有効です】
①　帯電防止服の着用　⇒　静電気の発生を予防する
②　帯電防止靴（導電靴）の着用　⇒　人体を常に接地し帯電防止
③　リストストラップの使用　⇒　人体を常にゼロ電位に保つ
④　アース（接地）　⇒　リストストラップを安全に接地
⑤　絶縁物を置かない　⇒　静電気の発生源を断つ