半導体製造装置にまつわる基礎知識

人類最高の機械装置である半導体製造装置

　半導体製造装置は、μ世界へのチップの書き込みやシリコン素材への研磨・洗浄など、人の手作業ではできないような精密で高精度な加工を行う装置になります。製造できるメーカー様も、半導体の各工程ごとにほぼほぼ決まっており、露光機の例でいえば、日本企業のキャノンやニコン、オランダのASML（ASML Holding N.V.）など、世界でも数社と限られた企業様が製造されています。それだけ製造するために必要な技術やノウハウが高く、限られた製造メーカー様しか存在しない最先端の分野といえるのでは、ないでしょうか。集積回路の発展の有名なムーアの法則の公式『 p=2^{{n/1.5}} 』が成り立つたつために、必要不可欠な装置こそが、この半導体製造装置にほかならないのです。

半導体製造装置にまつわる基礎知識 一覧

　半導体製造装置の稼働制御も基本的には電気信号つまり、PLCを中心とした入出力信号によって構成されています。クリーンルーム等に設置される機械装置であっても、工作機械や検査分析装置と同じように制御盤によって、稼働制御されています。ただし、この制御盤の中身、部隊的にはケーブルや機器等へのノイズ等の対策が半導体製造装置には求められます。
　下記に半導体製造装置の制御盤を過去何十年にわたって製造している大迫電気なりの基礎知識を一覧して紹介しています。皆様のご参考になれば幸いです。

• 半導体業界・半導体製造装置とは

  

• 半導体製造装置の仕組み

  

• 半導体製造装置 制御盤とは

  

• 半導体製造装置 制御盤に求められる技術

  

• 半導体製造装置 制御盤の静電気対策の種類