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半導体製造装置のインバーターの使用例

公開日：2013年6月12日 半導体電気設計者のつぶやき集

半導体製造装置では、装置内を常に一定の温度に保つ様に制御しなければなりません。微細な半導体素子を製造していくうえで、温度の変動幅が大きいことは、致命的な要因となります。その為、送風機を制御する上で、インバーターを使用し、 …