Before (改善前)
電磁弁
半導体チップはウェハーと呼ばれる半導体基板に回路パターンを露光して作られます。露光とは光に反応する薬剤を基板に塗布した物に光をあてパターンを描きます。半導体は微妙な温度管理が必要なため、露光時の光源からの熱により装置内が高温になると冷却水をポンプで送り、送風機で循環、排気をして温度を下げる必要があります。反応の早いON/OFF管理の出来る電磁弁、圧力センサー、流量計等で冷却水の管理をすることで装置内を適正な温度に保つ事が出来ます。
V
After (改善後)
比例電磁弁
半導体技術の進化が進み、さらに微細な回路パターンを露光するためにこれまでの水銀ランプではなくレーザーを用いた装置が開発されました。レーザーを用いた装置は温度に大変敏感なシステムな為、これまでより温度調節制度を高める必要があります。そのため、装置内の冷却ルートを増やし、ON/OFF制御のみでなく流体の流量を調節する事が出来る比例電磁弁を採用し、多数の圧力センサー、流量計、送風機を基板によって緻密に管理する事で、これまでの冷却水による液温制御技術を向上させることが可能になりました。