半導体製造装置 制御盤とは

制御盤とは、機械や電気装置の操作を、自動または手動で制御するために必要な制御機器を取り付けた盤の事になります。300mm位の物から2100mmを超える物まで、幅広く使用されている制御盤ですが、用途によってそのサイズも異なり制御盤に取り付ける制御機器だけでもかなりの機器（遮断器・開閉器・保護装置・継電器・リレー・PLC等）が存在します。いろいろな機器を組み合せスイッチやセンサーの信号を取り込んで、機械や装置のモーターや電磁弁等に電気を供給し駆動させ、他の装置へ信号を受渡したりします。

半導体製造装置 制御盤に求められる特徴

半導体製造装置は、温調、空調等様々な面で高レベルの精密な制御を必要とします。計器類・センサーは最高水準の物が実装され、その制御を行う半導体製造装置制御盤には、通信・伝達を確実にこなす能力が必須となります。

その他には、

□　クリーンルームに設置されるため、防塵対策、ラベル・マーカーのアウトガス規制
□　電気部品・ケーブル・端子・ダクト・保護材の規格（UL・CE・ROHS指令）
□　ユーザー独自の安全規格。

全ての規格、規制に適合した部品選定・設計・実装義務があり、特に海外規格と日本製部品（小型）の適合には、一般の制御盤以上の資料・技術が必要となります。
また、最終ユーザーに搬送されるまでの時間が長く移動・移設のための振動対策、分割のポイント、コネクタ処理が多数になるのも特徴の一つです。
耐久性を考慮しながら半導体製造装置 制御盤を製作します。