用語解説

スマートフォンやコンピュータなどの電子部品にはナノメートル単位の複雑で微細な電子回路が刻まれています。この電子回路のパターンをシリコンウェハーに焼き付ける機械が露光機です。回路パターンの描かれた元版を投影レンズに通す事で回路パターンを縮小した状態でシリコンウェハーに焼き付けます。それにより、シリコンウェハーには、より微細な電子回路を焼き付ける事ができます。半導体や基板の作成に使用されており、人類史上最も精密な機械とも呼ばれています。
これだけ最先端の高精度機器の為、製造できるメーカーも世界に3社しかないといわれています。その3社とはキャノンとニコン。オランダのASLMの3社になります。