東京都大田区で半導体製造装置の制御盤を制作している大迫電気のＳです。
以前に、温度センサーの他いくつかセンサーについて呟いてみましたが、今回は、圧力センサーについて詳しく呟いてみたいと思います。
温度センサーや流量センサー、圧力センサー等、装置を制御する上でとても重要なものです。
これらのセンサーが的確に数値を確定し表示する事で、一番効率の良い制御方法を作り上げることができます。
圧力センサーとは、気体や液体の圧力の変化をステンレスダイヤフラムやシリコンダイヤフラム等のダイヤフラムを介して感圧素子で計測し、電気信号に変換して出力する機器です。
又、あらかじめ設定した圧力値を超えたときに、電気信号として出力するもので、空気圧を利用した吸着確認・着座確認・リークテスト・元圧管理などさまざまな用途に使用されています。
気体専用としては、シリコンダイヤフラムを用い、シリコンチップの上に歪抵抗を形成しています。
矢印の方向に圧力が加わり、シリコンチップそのものが歪むと歪抵抗の抵抗値が変化します。
これを利用して圧力の変化を電気信号に変換します。
気体、及び液体には、ステンレスダイヤフラムを用い、ステンレスダイヤフラム上に蒸着された歪抵抗が、ステンレスダイヤフラムを介して歪むことによって圧力の変化を電気信号に変換しています。
制御する装置によって、様々な圧力センサーを使用する事になるので、設計をする人間のみならず、製作、及び設置する人間まで、幅広く勉強していかなくてはなりません。