日本国内の半導体製造装置の大手メーカー様の制御盤製作の実績

大迫電気株式会社は、半導体製造装置の制御盤製作を1990年代から行っています。ムーアの法則（集積回路のサイズが1.5年毎に半分になる）に代表されるような半導体業界の市場・機械装置が急激に発展の中で、ウエハ表面へ露光しマスクパターンを焼き付ける装置や、ウエハチップの回路パターンの検査装置の制御盤を、量産してきました。業界装置の発展と共に、制御盤に求められる品質が高くなると同時に、大迫電気内での機器の組付けから配線技術を向上させ、世界中に大迫電気で製造した制御盤が収められています。

このような半導体業界の品質の中で制御盤製作技術を磨き、今ではダクトレール内の配線の束ね方（束ね方が不自然であったら、不具合のあった配線だけを抜くことができない。綺麗な配線は、配線が絡まることなく抜ける）や、トラブルを防止する作業工程の標準化などを整備し、業界随一の高品質な制御盤を製造しています。

< 半導体業界の品質水準で量産している制御盤の製作技術 >

数ミリ単位での圧着 （スケールでの測定）

クリーンで清潔な 環境での制御盤の製作

配線に応力が残らない 取り回し配線

制御盤の配線の 見た目でわかる 高品質な制御盤の製作

土足禁止の作業場で製作するクリーン環境下に設置される制御盤

半導体製造装置が設置される環境は、クリーン環境下が多くなっています。そのため、大迫電気が制御盤の機器の組付けや配線の取り回し、コネクタの圧着やケーブル製作などの、制御盤製作を行う作業場はすべて土足禁止の室内です。これにより、ダクトケーブル内や盤内に誇り等が混入する確率を低減し、お客様のところまで制御盤を清潔に保ったまま納入することができます。

半導体製造装置の電気制御ユニットとして装置に組み込まれる制御盤を高品質に保つために、お客様からご依頼を受けた盤図面について、ほぼ大迫電気1社で製作しています。ブレーカ、マグネット、インバーター、PLC、サーボアブソーバー、ノイズフィルタの組付けから、ケーブル・ハーネス製作まで、自社の敷地内で自社社員が行っており、作業指示書や工程指示書によって細かな品質管理が可能です。また、自社で制御盤に組み付ける部材を取り揃えているため、短納期の制御盤製作も実現しています。

< クリーンな制御盤を製作する作業場>

土足厳禁の 制御盤製作の作業場

土足厳禁のコネクタや ケーブル製作の作業場

ケーブル製作の 内製による短納期対応 高品質の実現

大迫電気社内で 製作したケーブル

ノイズ対策等、半導体業界に精通した電気回路・制御盤の製造に特化

半導体製造装置の中でも大型の機械装置は高さが2m以上、横幅が数メートルにもなります。そのコントロールBoxにあたる制御盤の大きさも高さが2,000mm以上、横幅が3,000mm以上、奥行きが600mm以上も一般できな盤サイズです。この大きさの制御盤に、複雑で精密な機械制御のための電気機器や制御機器が各種配線によって配置されており、制御盤の製作者は組付けの順序から配線方法を組付け当初から全体をイメージしておく必要があります。特にナノレベルの加工を行っている半導体製造装置は、加工精度を維持するためのノイズ対策が不可欠です。そのため、半導体製造装置の制御盤内には、ノイズの発生自体の対策や発生したノイズの防止対策を適切に行うことが求められています。使用するノイズ対策機器としても、ノイズフィルタ・フェライトコア・サージアブソーバ・シールドケーブル・金属ケースなど、その電気回路や機器の配置等によって設置する機器の種類から個数まで設計段階から考慮する必要があります。

これら注意点を踏まえた上で、高品質な半導体製造装置の制御盤の製作できるのです。

< 半導体製造装置の制御盤に使用されるノイズ対策機器 >

ノイズ対策のために 設置された挟み込み式 のフェライトコア

制御盤内に設置された 挟み込み式の フェライトコア

ノイズ対策のために 設置されたリング型の フェライトコア

制御盤内に設置された リング型の フェライトコア